Sensor de presión cerámico
Los sensores de presión cerámicos se refieren a sensores que utilizan cerámica de alúmina como su elemento elástico de detección de presión-. Utilizan principalmente impresión de película-gruesa y procesos de co-cocción a alta-temperatura para formar directamente un puente de Wheatstone piezoresistivo en la parte posterior de un diafragma cerámico. Cuando el diafragma cerámico sufre una deformación mínima debido a la presión, provoca un cambio en la resistencia, emitiendo así una señal eléctrica.
Principio de funcionamiento
El principio básico es el efecto piezorresistivo, pero la implementación difiere del silicio difuso:
Materia prima:Utiliza sustratos cerámicos de alúmina altamente elásticos y de alta-pureza.
Proceso de fabricación:
En la parte posterior del sustrato cerámico, se imprime una pasta de resistencia especial (que a menudo contiene metales preciosos) en un patrón de puente de Wheatstone utilizando tecnología de impresión de película-gruesa.
Luego, el sustrato impreso se sinteriza a altas temperaturas (generalmente más de 1000 grados), uniendo firmemente la pasta de resistencia con el sustrato cerámico en una sola unidad.
Proceso operativo:
La presión actúa sobre la parte frontal del diafragma cerámico.
La membrana cerámica sufre una deformación por flexión extremadamente ligera.
Esta deformación se transfiere a las resistencias de película-gruesa de la parte posterior, lo que provoca que cambien sus valores de resistencia.
El cambio de resistencia de las cuatro resistencias conectadas en un puente de Wheatstone se convierte en una señal de salida de voltaje proporcional a la presión.
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